影響高精度電火花機(jī)加工精度的主要因素：

1.放電間隙對加工精度的影響：對高精度電火花機(jī)加工放電間隙大小的定量認(rèn)識(shí)，是確定加工方案的基礎(chǔ)。其中，包括工具電極形狀、尺寸的設(shè)計(jì)，加工工藝步驟的設(shè)計(jì)、加工規(guī)準(zhǔn)的選擇與切換以及相應(yīng)工藝措施的設(shè)計(jì)等等。

2.加工斜度的影響：在高精度電火花機(jī)加工中，側(cè)壁的加工斜度是不可避免的。對于一些需要有一定斜度的模具，成形模的脫模斜度、沖模的落料斜度等，高精度電火花機(jī)加工過程中的自然斜度是有益的。但是，在加工精度的直壁模具中，加工斜度則對保證加工精度帶來了困難。

3.棱角倒圓的影響：在成形加工中，工具電極尖棱、尖角處損耗速度一般比較快。因此在加工中很難加工出清棱清角，這樣就影響了高精度電火花機(jī)成形加工的仿形精度。棱角倒圓有損耗的原因，同時(shí)也有工藝方面的原因、例如：在型腔加工中，一般都采用”手動(dòng)“或”搖動(dòng)'加工工藝，很多情況下，尤其使國產(chǎn)平動(dòng)頭，都采用仿圓軌跡的運(yùn)動(dòng)方式。在型腔加工修光的同時(shí)，又產(chǎn)生了棱角倒圓的副作用。因此，對清棱清角要求高的功件，只能增加工具電極穿透的深度（冷沖模），或在線修整電極，或更換電極。平動(dòng)或搖動(dòng)，因有斜十字、米字等多種搖動(dòng)軌跡、有助于解決棱角損耗角度。

4.其它因素：還有一些其它因素，如：工具電極損耗。鏡面加工時(shí)間長電極損耗大；工作液污染嚴(yán)重；沖油比抽油斜度也大（沉渣泛起）；成形加工裝置的精度；工具電極的裝卡、找正精度都會(huì)造成斜度影響。甚至電極形狀不同，高精度電火花機(jī)通道壓力不均，機(jī)械剛性差等也會(huì)對斜度產(chǎn)生影響；伺服不穩(wěn)定，工具電極提升頻繁，二次放電增多等等都會(huì)增大加工斜度，進(jìn)而會(huì)影響放電間隙，也影響了加工精度。